• 塗布量:3 pL ~ 500 pL
• 最高噴射周波数:20 kHz
• X-Y-Z 繰り返し位置決め精度:±5μm / ±5μm / ±20μm
• 粘度範囲:0.1 ~ 100 mPa・s
• S-IJP精密噴射技術、非接触式・超微量ディスペンス
• 最大4ヘッド搭載、フィードバック制御による高い均一性
• PC・PLC制御システム、CCDカメラ自動キャリブレーション
技術原理:アンダーフィル塗布工程:液量とパスを精密に制御することで、チップと基板の間に確実な保護層を形成します。
応用事例:チップスケールパッケージ(CSP) / ボールグリッドアレイ(BGA) / システムインパッケージ(SiP) / ウェハレベルパッケージ(WLP) / フリップチップ(Flip Chip) / 2.5D & 3Dパッケージ